高い非線形結合と高い損傷閾値を備えたLBO

中国における機能性結晶および関連非線形光学結晶の育成は、世界をリードする地位を占めています。硬くて脆い機能性結晶に起こりやすい崩壊、陥没、破損などの欠陥に加え、LBO結晶には硬質粒子の埋め込みや吸着といった欠陥が存在する可能性があります。LBO結晶の応用には、単結晶表面が極めて平滑で、欠陥や損傷がないことが求められます。LBO結晶の加工品質と精度は、デバイスの性能に直接影響を及ぼします。結晶表面にピット、マイクロクラック、塑性変形、格子欠陥、粒子の埋め込みや吸着といった微細欠陥があると、レーザー照射による散乱がレーザー品質に影響を与えたり、エピタキシャル成長膜への伝播が膜の破損につながり、デバイスにとって致命的な欠陥となります。現在、LBO結晶の加工技術は複雑で、加工コストが高く、加工効率が低く、加工後の表面品質も良好ではありません。超精密加工の効率と精度を向上させ、大規模な工業生産を実現することが急務となっています。研削・研磨はLBO結晶の高精度・高効率・超精密加工を実現するための重要な手段です。