真空コーティング - 既存の結晶コーティング方法
製品説明
既存の結晶コーティング方法は、大きな結晶を等面積の中結晶に分割し、複数の中結晶を積み重ね、隣接する二つの中結晶を接着剤で接着する；等面積に積み重ねられた小さな結晶を再び複数のグループに分割する；積み重ねられた小さな結晶を取り、複数の小さな結晶の周側面を研磨して円形断面の小さな結晶を得る；分離する；小さな結晶の 1 つを取り、小さな結晶の周側面に保護接着剤を塗布する；小さな結晶の前面および/または裏面をコーティングする；小さな結晶の周側面の保護接着剤を除去して最終製品を得る、という工程を含む。
既存の結晶コーティング加工方法では、ウェーハの周縁側壁を保護する必要があります。小型ウェーハの場合、接着剤塗布時に上下面が汚染されやすく、作業が容易ではありません。また、結晶の表裏にコーティングした後、保護接着剤を洗い流す必要があり、作業手順が煩雑です。
方法
クリスタルのコーティング方法は以下のとおりです。
●予め設定された切断輪郭に沿って、基板の上面から入射するレーザーを用いて基板内部の修正切断を行い、第１中間製品を得る。
●第一中間製品の上面および／または下面をコーティングして第二中間製品を得る工程と、
●予め設定された切断輪郭に沿って、第２中間製品の上面をレーザーで刻み、切断し、ウェハを分割して、目的の製品と残りの材料を分離します。
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