真空コーティング – 従来のクリスタルコーティング法

既存の結晶コーティング法は、大きな結晶を等面積の中結晶に分割し、複数の中結晶を積層し、隣り合う２つの中結晶を接着剤で接着する。等しい面積で積み重ねられた小さな結晶の複数のグループに再度分割します。小さな結晶の積み重ねを取り、複数の小さな結晶の周囲側面を研磨して、円形の断面を有する小さな結晶を得る。分離;小さな結晶の１つを取り出し、小さな結晶の周囲の側壁に保護接着剤を塗布する。小さな結晶の表側および／または裏側をコーティングする。小さな結晶の周囲の保護接着剤を除去して、最終製品を得る。
従来の結晶コーティング処理方法では、ウェーハ外周側壁を保護する必要がありました。小さなウェーハの場合、接着剤を塗布する際に上下面が汚れやすく、作業が容易ではありません。クリスタルの表裏をコーティングした場合 終了後に保護接着剤を洗い流す必要があり、作業手順が煩雑です。